電子潔凈室通過(guò)控制空氣中的塵埃粒子、微生物、化學(xué)污染物等，為電子產(chǎn)品的生產(chǎn)提供了理想的環(huán)境。而高效過(guò)濾器作為潔凈室空氣凈化系統(tǒng)的重要心組件，其正確選擇直接關(guān)系到潔凈室能否達(dá)到預(yù)期的潔凈等級(jí)，保障生產(chǎn)的順利進(jìn)行。

認(rèn)識(shí)高效過(guò)濾器的類型及特點(diǎn)：

HEPA 高效過(guò)濾器是電子潔凈室中應(yīng)用較多的過(guò)濾器類型之一。其濾材通常采用超細(xì)玻璃纖維，纖維直徑≤1μm，通過(guò)多層折疊增加過(guò)濾面積，提高過(guò)濾效率。HEPA 過(guò)濾器具有以下特點(diǎn)：

過(guò)濾效率高：如前文所述，H13 級(jí)和 H14 級(jí) HEPA 過(guò)濾器能夠?qū)Α?.3μm 的粒子實(shí)現(xiàn)極高的過(guò)濾效率，滿足大多數(shù)電子潔凈室的潔凈度要求。

阻力適中：初始阻力一般在 200 - 250Pa 左右，在過(guò)濾器的使用壽命內(nèi)，阻力增長(zhǎng)相對(duì)緩慢。這意味著在保證高效過(guò)濾的同時(shí)，不會(huì)給空氣凈化系統(tǒng)帶來(lái)過(guò)大的能耗負(fù)擔(dān)。

適用性強(qiáng)：適用于多種電子生產(chǎn)場(chǎng)景，無(wú)論是大規(guī)模集成電路制造、電子設(shè)備組裝，還是液晶面板生產(chǎn)等，都能找到合適規(guī)格的 HEPA 過(guò)濾器。

ULPA 超高效過(guò)濾器在電子行業(yè)中主要應(yīng)用于對(duì)潔凈度要求極高的工藝環(huán)節(jié)。其與 HEPA 過(guò)濾器相比，具有更高的過(guò)濾效率，能夠過(guò)濾掉 0.12μm 甚至更小粒徑的粒子。ULPA 過(guò)濾器的特點(diǎn)如下：

超高過(guò)濾效率：U15 - U17 級(jí)的 ULPA 過(guò)濾器對(duì)≥0.12μm 粒子的過(guò)濾效率高達(dá) 99.9995% - 99.999995%，為超精密電子制造提供了可靠的保障。

結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)精密：為了實(shí)現(xiàn)超高的過(guò)濾效率，ULPA 過(guò)濾器在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上更加精密，濾材的折疊方式、分隔物的選擇等都經(jīng)過(guò)精心優(yōu)化，以確保氣流在過(guò)濾器內(nèi)能夠均勻分布，充分發(fā)揮濾材的過(guò)濾性能。

成本較高：由于其對(duì)濾材、制造工藝和檢測(cè)要求更高，ULPA 過(guò)濾器的成本相對(duì) HEPA 過(guò)濾器要高出許多。因此，在選擇 ULPA 過(guò)濾器時(shí)，需要根據(jù)實(shí)際的潔凈等級(jí)需求謹(jǐn)慎決策，避免過(guò)度投資。

有隔板高效過(guò)濾器：采用鋁箔、紙隔板或塑料隔板將濾材分隔成多個(gè)小單元，形成 V 型通道。這種結(jié)構(gòu)使得過(guò)濾器具有較高的容塵量，能夠在較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)保持穩(wěn)定的過(guò)濾性能。有隔板高效過(guò)濾器適用于大風(fēng)量的空氣凈化系統(tǒng)，如大型電子潔凈室的集中送風(fēng)系統(tǒng)。然而，由于隔板的存在，有隔板高效過(guò)濾器的厚度較大，一般在 220 - 300mm 之間，占用空間較多。

無(wú)隔板高效過(guò)濾器：以熱熔膠或聚氨酯膠替代隔板，將濾材緊密折疊成 V 型或 W 型。無(wú)隔板高效過(guò)濾器的突出優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)緊湊，厚度通常為 60 - 90mm，大大節(jié)省了安裝空間。這使得它非常適合在空間有限的電子潔凈室中使用，如 FFU（風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元）、層流罩等設(shè)備。此外，無(wú)隔板高效過(guò)濾器在同等尺寸下，過(guò)濾面積比有隔板過(guò)濾器更大，能夠提供更高的過(guò)濾效率。但相對(duì)而言，其容塵量可能略低于有隔板過(guò)濾器。